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日本SUGAWARA菅原氙氣閃光燈頻閃儀應(yīng)用于半導(dǎo)體壽命測試系統(tǒng) MS-230DA

更新時間:2024-01-12      瀏覽次數(shù):379


半導(dǎo)體壽命測試系統(tǒng)

硅板的壽命測試系統(tǒng)
(日本Napson公司)

image.png

在半導(dǎo)體硅板的加工過程中,越來越多的制造廠商開始重視對其壽

命的測試,這個測試涉及對金屬雜質(zhì)含量及結(jié)晶瑕疵的判斷和分析。

因此日本NAPSON公司結(jié)合SUGAWARA的閃頻儀技術(shù),研發(fā)設(shè)計

出針對硅板壽命測試的專用檢測設(shè)備。

壽命測試是指用氙氣閃光燈對硅板進行短暫照射增加正負極電子數(shù)

量,在硅體電子數(shù)量伴隨使用時間減少后,通過照射增加到原來的

數(shù)量,恢復(fù)到初始狀態(tài)。P型硅晶體通常會有大量正極電子,而N型

則是負極電子偏多,通過氙氣閃光燈的短暫照射,可以使各自的電

子數(shù)量恢復(fù)到原始狀態(tài)。

相關(guān)產(chǎn)品

多功能分體式氙氣閃頻儀15W系列MS-230DAimage.png

產(chǎn)品參數(shù)

型號MS-230DA
頻閃范圍60 – 26,500 r/min
燈泡15 W
閃光持續(xù)時間≤6 µs
功能內(nèi)部觸發(fā),外接信號同步
電源AC100 V±10%
尺寸 (W×H×D)270×170×190 mm
重量6.8 kg


 




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