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ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產(chǎn)品介紹

更新時間：2024-05-21      瀏覽次數(shù)：283

ADTEC Plasma Technology 產(chǎn)品

高周波射頻電源

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  • 設計可承受高反射高耐用的具有高信賴度的產(chǎn)品

  • 提供降低成本的產(chǎn)品

  • 安裝了最新的CPU
    （高速響應性能UP）

  • 支持新的通訊方式
    （可對應EtherCAT）


自動匹配阻抗設備

  • image.png

  • 可實現(xiàn)高速自動整合

  • 監(jiān)視史密斯圓圖上的腔室阻抗

  • 使用專用軟件實時顯示，
    行波，反射波電力功率等

IDX產(chǎn)品

直流電源

  • image.png

  • 可在一臺電源上實現(xiàn)多種輸出模式
    可實現(xiàn)可變Duty的雙極輸出
    可實現(xiàn)直流及直流脈沖方式輸出

  • 搭載高速電弧遮斷功能


微波電源

  • image.png

  • 應用于等離子處理設備

  • 不受高電壓及振動部產(chǎn)生的散熱影響，并且設置環(huán)境也適合廣大范圍　



  • TXR，TXL，TXM，TXH系列

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    AX系列

    image.png

    • 可承受高反射的AB類線性AMP
      高可靠性和高耐用性設計

    • 對應300W～30kW

    • 安裝了最新的CPU
      （高速響應性能UP）

    • 支持新的通訊方式
      （可對應EtherCAT）

    • 300W～對應



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