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用于氣相分解的VPDBOX的技術(shù)參數(shù)

更新時間:2024-09-05      瀏覽次數(shù):507

VPD BOX特點

●該設(shè)備利用氫氟酸自然汽化,在氣相狀態(tài)下分解硅片上的氧化膜和氮化膜,使硅片表面疏水化。

●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。

●請與半自動收集裝置SC系列配合使用。

規(guī)格參數(shù)

裝置名

VPDBOX-200-1M

VPDBOX-300-1M

最大處理張數(shù)

1 件

1 件

外形(W×D×H)(mm)(※1)

290×290×250

390×390×250

重量

6公斤

8公斤

使用場所

干凈的草案里面

干凈的草案里面

外部資源

N2氣(用于酸性氣氛吹掃)

N2氣(用于酸性氣氛吹掃)


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