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技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2025-09-15 
瀏覽次數(shù)：8在高度精密的半導(dǎo)體制造過程中，微量的水分（H?O）都足以成為性能與可靠性的致命威脅。水分可能導(dǎo)致光刻膠失效、金屬線路腐蝕、封裝界面分層（Delamination）和“爆米花"效應(yīng)（Popcorn Effect）等致命缺陷。因此，對(duì)水分含量的精準(zhǔn)監(jiān)控貫穿了從原材料驗(yàn)收、化學(xué)品純化到封裝成品的每一個(gè)環(huán)節(jié)。
日本Kett KB-30近紅外（NIR）水分計(jì)憑借其非接觸、無損、高速、高精度的測量特性，成為半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)的關(guān)鍵工具，其主要應(yīng)用可集中體現(xiàn)在以下三大領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造依賴大量高純度的溶劑、酸、堿和光刻膠。這些化學(xué)品中的微量水分是評(píng)估其等級(jí)和適用性的核心指標(biāo)之一。
傳統(tǒng)方法的弊端： 傳統(tǒng)的卡爾費(fèi)休法雖然精確，但屬于離線、接觸式、破壞性的測量。需要取樣，存在污染風(fēng)險(xiǎn)，且耗時(shí)較長，無法滿足實(shí)時(shí)監(jiān)控的需求。
KB-30的解決方案：
在線實(shí)時(shí)監(jiān)控： 可直接安裝在化學(xué)品輸送管道或儲(chǔ)罐上，對(duì)流過或存儲(chǔ)的液體化學(xué)品進(jìn)行實(shí)時(shí)、連續(xù)的水分監(jiān)測，無需取樣，徹的底避免污染。
無損測量： 近紅外光穿透玻璃或塑料視窗進(jìn)行測量，完的全不與化學(xué)品接觸，保證了化學(xué)品的純凈度和安全性。
快速反饋： 一旦檢測到水分含量超出預(yù)設(shè)閾值，可立即觸發(fā)警報(bào)，連接自動(dòng)閥門進(jìn)行分流或提醒工作人員處理，防止不合格化學(xué)品進(jìn)入生產(chǎn)線。
半導(dǎo)體封裝材料，如環(huán)氧塑封料（EMC）、基板（Substrate）、引線框架（Lead Frame）上的涂層以及聚酰亞胺（PI）漿料等，其含水率直接影響封裝工藝的成功率和最終產(chǎn)品的可靠性。
質(zhì)量控制痛點(diǎn)： 來料材料的含水率必須被嚴(yán)格控制在極低的水平（通常為幾百ppm甚至更低）。如果潮濕的材料直接進(jìn)入高溫回流焊等工藝，內(nèi)部水分急劇汽化會(huì)導(dǎo)致內(nèi)部開裂和分層。
KB-30的解決方案：
快速篩查： 對(duì)來料的顆粒狀（如EMC顆粒）、片狀（如基板）或粉狀材料進(jìn)行數(shù)秒內(nèi)的無損快速檢測。無需復(fù)雜樣品制備，大幅提升QC效率。
100%檢測可能： 高速測量使得對(duì)重要批次進(jìn)行全數(shù)檢測成為可能，確保無一遺漏。
數(shù)據(jù)可追溯： 測量結(jié)果可輕松記錄并輸出，為每批來料建立質(zhì)量檔案，實(shí)現(xiàn)完的美的質(zhì)量追溯。
在許多關(guān)鍵工藝步驟前后，對(duì)水分進(jìn)行監(jiān)控是預(yù)防缺陷的必要手段。
關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)：
預(yù)烘烤（Pre-baking）過程： 在芯片貼裝（Die Attach）或塑封之前，必須確保材料或半成品充分干燥。KB-30可用于判斷烘烤是否達(dá)到終點(diǎn)，避免烘烤不足（水分殘留）或過度烘烤（能源浪費(fèi)和材料老化）。
潔凈廠房環(huán)境監(jiān)控： 雖然主要用于材料，但也可用于監(jiān)測特定環(huán)境中暴露的材料的吸濕情況。
晶圓載具（Wafer Cassette）、舟皿（Boat）的清潔度確認(rèn)： 清洗后確認(rèn)這些工器具是否完的全干燥，防止其成為污染源。
KB-30的解決方案：
無縫集成生產(chǎn)線： 可安裝在傳送帶上方或機(jī)械手操作工位，對(duì)流水線上的產(chǎn)品進(jìn)行100%在線檢測，實(shí)現(xiàn)真正的智能制造和質(zhì)量閉環(huán)控制。
工藝優(yōu)化： 通過連續(xù)監(jiān)測數(shù)據(jù)，可以優(yōu)化烘烤工藝的溫度和時(shí)間參數(shù)，提高能效并提升產(chǎn)能。
非接觸與無損： 絕對(duì)保證被測樣品和生產(chǎn)環(huán)境的純凈，這是卡爾費(fèi)休法等接觸式方法無的法的比的擬的絕對(duì)優(yōu)勢。
高速高效： 1-3秒內(nèi)得出結(jié)果，滿足在線實(shí)時(shí)控制和高速生產(chǎn)節(jié)拍的需求。
操作簡便： 無需專業(yè)的化學(xué)分析師操作，普通質(zhì)檢員即可完成測量，降低人力成本和操作誤差。
卓的越的可靠性： 日本Kett品牌在水分測量領(lǐng)域擁有悠久歷史，設(shè)備穩(wěn)定耐用，適合7x24小時(shí)的嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境。
總結(jié)：
Kett KB-30近紅外水分計(jì)通過其在化學(xué)品純度檢測、封裝材料來料QC與過程水分監(jiān)控三大核心應(yīng)用中的卓的越表現(xiàn)，為半導(dǎo)體行業(yè)構(gòu)建了一道全的方的位、實(shí)時(shí)、高效的水分防護(hù)網(wǎng)。它不僅是質(zhì)量控制的工具，更是提升良率、保障可靠性、實(shí)現(xiàn)智能制造升級(jí)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
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