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技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2026-01-12 
瀏覽次數(shù)：54Nomura Micro Science（野村微電子科技） 開(kāi)發(fā)的NOXiEMON®是不使用化學(xué)試劑的超純水中*在線監(jiān)測(cè)儀，專為半導(dǎo)體、制藥等高純工藝領(lǐng)域設(shè)計(jì)。核心創(chuàng)新技術(shù)采用N-Lite® DEP（酵素?fù)?dān)持樹(shù)脂），通過(guò)固定化酶反應(yīng)將H?O?直接分解為O?，再通過(guò)高精度DO計(jì)測(cè)量生成的氧氣濃度，間接換算H?O?含量。這一革命性設(shè)計(jì)摒棄了傳統(tǒng)化學(xué)法需要的試劑添加系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格
| 參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格值
| -------- | ------------------------
| 測(cè)量原理 | N-Lite® DEP酶反應(yīng) + DO溶解氧檢測(cè)
| 測(cè)量范圍 | 0.3～60 ppb
| 檢測(cè)下限 | 0.3 ppb（DO波動(dòng)≤0.1ppb時(shí)）
| 測(cè)量上限 | 60 ppb
| 精度 取決于DO計(jì)精度（通常±0.1ppb）
| 尺寸 | 600×600×1200 mm（W×D×H）
| 重量 | 約100 kg
| 自動(dòng)功能 | 自診斷、自動(dòng)沖洗啟動(dòng)
產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)? 無(wú)試劑消耗：無(wú)需添加任何化學(xué)試劑，大幅降低運(yùn)行成本和環(huán)境負(fù)擔(dān)? 維護(hù)簡(jiǎn)便：無(wú)需更換試劑管路、泵閥等易損件? 抗干擾能力強(qiáng)：可準(zhǔn)確測(cè)量TOC-UV系統(tǒng)產(chǎn)生的H?O?，不受其他物質(zhì)干擾? 智能自診斷：自動(dòng)判定N-Lite® DEP樹(shù)脂劣化狀態(tài)，預(yù)警更換時(shí)機(jī)? 超純水專用：專為電阻率≥18MΩ·cm的超純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)典型應(yīng)用場(chǎng)景半導(dǎo)體制造：監(jiān)測(cè)TOC-UV氧化后殘留H?O?濃度晶圓清洗：控制清洗液中H?O?濃度在ppb級(jí)超純水系統(tǒng)：在線驗(yàn)證UV氧化效率制藥用水：無(wú)菌制劑用水的痕量氧化劑監(jiān)控
與傳統(tǒng)技術(shù)對(duì)比
| 對(duì)比項(xiàng) | NOXiEMON®酶法 | 傳統(tǒng)化學(xué)法（如鈦絡(luò)合物法） |
| --------- | ----------- | ------------- |
| 試劑消耗 | 無(wú) | 需持續(xù)添加化學(xué)試劑 |
| 維護(hù)頻率 | 低（僅更換樹(shù)脂） | 高（試劑管路、泵閥） |
| 速度 | 實(shí)時(shí)響應(yīng) | 2-10分鐘響應(yīng) |
| 交叉污染 | 無(wú) | 試劑可能引入污染 |
| 運(yùn)行成本 | 低 | 高（試劑+廢液處理） |
| 環(huán)境友好性| 優(yōu)（無(wú)廢液） | 差（產(chǎn)生化學(xué)廢液） |
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